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Hatachi日立S-3700N多功能分析型可變壓掃描電子顯微鏡

簡要描述：

S-3700N 多功能分析型可變壓掃描電鏡
研究超大，超重，超高樣品的分析型掃描電鏡
● Z大可載樣品直徑達(dá)300mm
● Z大觀察區(qū)域直徑達(dá)203mm
● 在觀察110mm高樣品時可進(jìn)行能譜分析
● 樣品室設(shè)置多種接口，可安裝EDS、WDS、EBSD和CL等多種分析用附件
● 5軸優(yōu)中心馬達(dá)臺可以傾斜--20°~+90°
● 采用節(jié)能，清潔的渦輪分子泵

更新時間：2018-03-17

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S-3700N 多功能分析型可變壓掃描電子顯微鏡

產(chǎn)品介紹：

S-3700N 多功能分析型可變壓掃描電鏡

研究超大，超重，超高樣品的分析型掃描電鏡

● zui大可載樣品直徑達(dá)300mm
● zui大觀察區(qū)域直徑達(dá)203mm
● 在觀察110mm高樣品時可進(jìn)行能譜分析
● 樣品室設(shè)置多種接口，可安裝EDS、WDS、EBSD和CL等多種分析用附件
● 5軸優(yōu)中心馬達(dá)臺可以傾斜--20°~+90° 
● 采用節(jié)能，清潔的渦輪分子泵

S-3700N技術(shù)參數(shù)


分辨率SE 3.0nm，30KV(高真空模式)
10nm， 3KV(高真空模式)
BSE 4.0nm，30KV（低真空模式）
放大倍率x5~x300，000
加速電壓0.3~30KV
低真空范圍6~270Pa
圖像電位移±50μm （工作距離 10mm）
zui大裝載樣品直徑300mm


樣品臺


X150mm
Y110mm
Z5~65mm
R360°
T-20°~90°
觀測區(qū)域203mm直徑
樣品zui大高110mm（工作距離10mm）
樣品臺類型優(yōu)中心馬達(dá)臺


電子光學(xué)系統(tǒng)


燈絲預(yù)對中燈絲
物鏡光闌4孔活動光闌4孔活動光闌
槍偏壓固定比例偏壓、手動偏壓和自動4偏壓
探測器二次電子探頭
5分割半導(dǎo)體式被散射探頭
分析位置工作距離10mm，取出角35°


顯示控制系統(tǒng)

控制模式鍵盤鼠標(biāo)、操縱桿、旋鈕板
顯示器液晶顯示器
輔助功能3D動畫演示功能
電鏡操作導(dǎo)航功能
樣品操作導(dǎo)航功能
傾斜補(bǔ)償功能
存儲圖像精度640 x 480 , 1280 x 960
2560 x 1920 , 5120 x 3840
圖片格式BMP, TIFF, JPEG
圖像顯示模式全屏模式：1280 x 960
標(biāo)準(zhǔn)模式：640 x 480
分割模式：640 x 480 點(diǎn) x 2
信號混合模式


真空系統(tǒng)

控制模式全自動
分子210升/秒，一臺
機(jī)械泵135升/分，一臺
保護(hù)措施斷電保護(hù)、漏氣保護(hù)

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